半導体人材育成プログラム
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半導体設備メンテナンス初級コースA
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受講対象者：
初めて半導体設備の保守・メンテナンス作業を行う方コース内容：
本コースでは、学科と実技を通じて半導体設備の保守・メンテナンスについて学習します。
半導体製造装置のメンテナンスを行うエンジニアにとって基礎となる機械・電気・半導体・安全等に関する知識・作業スキルを10日間で習得できます。カリキュラム概要（学科：29.5h/実技：40.5h）10日間 目的 半導体製造の概要を理解する
工具・測定器を安全に使える
半導体製造装置の構造を理解する
電気・機械保全の基礎を理解する
安全作業が出来る1：製造設備基礎（学科：25.5h/実技：11.5h） 1-1：安全教育 保全作業に必要な安全知識の習得
①安全教育 理解度テスト
1-2： 機械基礎 機械要の基礎知識を身に付ける
①測定器 ②工具 ③機械要 ④空圧 理解度テスト
1-3：電気基礎 電気の基礎知識を身に付ける
①電気回路 ②電気測定器 理解度テスト
1-4：半導体基礎 半導体の基礎知識を身に付ける
①半導体基礎 ②半導体製造装置基礎 ③ガス基礎 ④薬品基礎 理解度テスト2：装置保全基礎（学科：2.5h/実技：28h） 2-1：保全基礎真空の基礎意識を身に付ける
①真空 理解度テスト
2-2：メンテナンス実習半導体製造装道を使用してメンテナンスの基本的な作業スキルを身に付ける
①クリーンルーム内での作業について ②チャンバープロセスキット交換作業
③チャンバー大気開放作業 ④ウエハ搬送及び位置確認作業
⑤チャンバー真空引き作業 ⑥チャンバーリーク確認作業
⑦体験作業（装置シャットダウン・立ち上げ） ⑧設備構成理解3：その他 （学科：1.5h/実技：1h） 3-1：振り返り 毎日の講義・実習内容を振り返る 訓練日誌記入
入校式・オリエンテーション・修了式開催スケジュール：
回 日程 申込締切日 第1回 2025/6/30（月）～7/11（金） 2025/6/20（金） 第2回 2025/7/22（火）～8/4（月） 2025/7/12（土） 第3回 2025/8/18（月）～8/29（金） 2025/8/8（金） 第4回 2025/9/1（月）～9/12（金） 2025/8/22（金） 第5回 2025/9/29（月）～10/10（金） 2025/9/19（金） 第6回 2025/11/10（月）～11/21（金） 2025/10/31（金） 第7回 2025/12/1（月）～12/12（金） 2025/11/21（金） 第8回 2026/1/30（金）～2/13（金） 2026/1/20（火） 第9回 2026/3/2（月）～3/13（金） 2026/2/21（土）